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600口径激光平面相移干涉仪
主要技术参数
1. 端口1最大测量口径:Ф120mm
2. 端口2最大测量口径:Ф600mm
3. 测量方式:菲索干涉原理,中心波长λ=632.8nm;
4. 标准参照镜面形精度:PV:λ/12;
5. 系统精度,空腔PV优于53nm;
6. PV重复性优于λ/100,RMS重复性优于λ/1000;
7. 连续变焦倍数:3 倍;
8. 光源:半导体调谐激光器(632.8nm);
9. 最佳工作温度:20℃-25℃;


优势
1.该设备采用双端口测量设计;可以根据被测元件的大小选择测量端口。满足宽范围测量的要求。
2.采用先进波长调谐相移专利技术;实现高精度的相移控制。有效保证了测量精度。
3.标准参照镜采用国外一流的高标准、大口径融石英材料,标准镜精度全口径达到λ/12以上。
4.标准参照镜面形精度:PV:λ/12;
5.系统精度,空腔PV优于53nm;
6.PV重复性优于λ/100,RMS重复性优于λ/1000;


应用领域
产品主要应用于大口径高精度光学元件的高精度测量。广泛应用于航天、航空、天文观测等中关键光学元器件的高精度测量。
脚注信息
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